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具有自主知识 5-JN)TDR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的专用设备。装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。 单晶炉二次增料时的原料形状一般分为块状硅料、粉末状硅料和棒状硅料。粉末状硅料可以利用专用设备成块状,棒状硅料经过水机后形成块状硅料。因此.块状硅料的二次增料装置可以实现三种不同形状硅料往单晶炉内的添加,大多数企业采用块状硅料二次增料装置来实现单晶炉生产效率的提高, 图1为某块状硅料的单晶炉二次增料装置结构示意图。
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3,绘制电气接线图时,底板内外的电器元件之间的连线通过接线端子板进行连接,底板上有几条接外电路的引线,端子板上应绘出几个线的接点。4,绘制电气接线图时,走向相同的相邻导线可以绘成一股线。二次电路(1) 直流回路从正极到负极:列如控制回路,信号回路等。从一个回路的直流正极始,按照电流的流动的方向,看到负极为止。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,所以拉晶实验成本太高。而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟,得到了氩气流场分布图和热场温度分布图。对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂。本文在国产TDR-80单晶炉的基础上。降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积,严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难。出于提高生产率生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展结晶速率难以提高。